川崎洁净室NT410

无现货

为单臂NT410洁净室应用而设计的NT系列机器人可以实现多达四个FOUP,其提供了每小时280个晶片的标准性能,配有对准器的标准性能以及不带定位器的400个WPH。软件和硬件具有碰撞检测功能,符合SEMI F47电压暂降抗扰度标准和SEMI S2环境,健康和安全标准。

控制器D
D控制器旨在开发洁净室应用,包括完整的数字伺服过程,标准的以太网通信端口,紧凑的尺寸,灵活的不同软件开发,双臂和多轴控制的独立操作,所有轴的统一伺服放大器,标准环境,健康和安全SEMI S2,ISO 1白色房间。
D60控制器的规格
  • 伺服完整的数字系统
  • 受控轴:最多7轴
  • 手动,半自动,全自动教学。
  • 外部紧急停车,接近安全,外部停车。
  • 硬件:RS232C x 1以太网。
  • 软件:K-Utility(清洁机器人的原川崎通信命令)。
  • 能量:电压:单相,AC208 V±10%,50/60 Hz。标准:SEMI F47。
  • 输入信号:最多16个通道。
  • 输出信号:最多8个通道
  • 兼容机器人系列:NS,NT,NX,TT,TX和NV
D61控制器的规格
  • 伺服完整的数字系统
  • 受控轴:最多12个轴
  • 手动,半自动,全自动教学。
  • 外部紧急停车,接近安全,外部停车。
  • 硬件:RS232C x 2以太网。
  • 软件:K-Utility(清洁机器人的原川崎通信命令)。
  • 能量:电压:单相,AC208 V±10%,50/60 Hz。标准:SEMI F47。
  • 输入信号:最多96个通道
  • 输出信号:最多80个通道
  • 兼容机器人系列:NS,NT,NX,TT,TX和NV
主要规格
 
轴数:4
最大达到:1,230毫米
重复性:±0.1毫米(晶圆中心)
控制器:D60 / D61
 
运动范围(°)
 
θ1轴(旋转JT2):340°
Z轴(上下JT3):400毫米
θ2轴(旋转JT4):340°
H1轴(旋转JT6):340°(380°)comoopción
H2轴(旋转JT7): -
 
机器人应用
 
整理房间

应用

零件处理 , 零件组装

图表