洁净室川崎NS511

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NS系列机器人设计用于洁净室应用NS511(带翻盖的天花板安装),带有RTZ运动,可选长度为线性轴,用于额外的FOUP范围。它们在处理300mm晶圆时提供了高性能。软件和硬件配备了碰撞检测功能,并符合SEMI F47电压无罪标准和SEMI S2环境,健康和安全标准。

控制器D
D控制器旨在开发无尘室应用,包括完整的数字伺服过程,标准的以太网通信端口,紧凑的占地面积,灵活的不同软件开发,双臂和多轴控制的独立操作,全轴统一伺服放大器,标准环境,健康安全SEMI S2,白色房间ISO 1。
D60控制器的规格
  • 伺服完整的数字系统
  • 受控轴:最多7轴
  • 手动,半自动,全自动教学。
  • 外部紧急停车,接近安全,外部停车。
  • 硬件:RS232C x 1以太网。
  • 软件:K-Utility(清洁机器人的原川崎通信命令)。
  • 能量:电压:单相,AC208 V±10%,50/60 Hz。标准:SEMI F47。
  • 输入信号:最多16个通道。
  • 输出信号:最多8个通道
  • 兼容机器人系列:NS,NT,NX,TT,TX和NV
D61控制器的规格
  • 伺服完整的数字系统
  • 受控轴:最多12个轴
  • 手动,半自动,全自动教学。
  • 外部紧急停车,接近安全,外部停车。
  • 硬件:RS232C x 2以太网。
  • 软件:K-Utility(清洁机器人的原川崎通信命令)。
  • 能量:电压:单相,AC208 V±10%,50/60 Hz。标准:SEMI F47。
  • 输入信号:最多96个通道
  • 输出信号:最多80个通道
  • 兼容机器人系列:NS,NT,NX,TT,TX和NV
主要规格
 
轴数:4
ISO 5级
重复性:±0.1毫米(晶圆中心)
控制器:D60 / D61
 
运动范围(°)
 
Y轴(旅行JT1): -
θ轴(旋转JT2):473°
Z轴(上下JT3):440毫米
X轴(上下JT4):816.5毫米
F轴(旋转JT5):200°
 
机器人应用
 
整理房间

应用

零件处理 , 零件组装

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