Kawasaki 洁净室川崎NS411

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NS系列机器人设计用于洁净室应用NS411(带有活瓣的单臂),RTZ运动,可选长度为线性轴,用于额外的FOUP范围。它们在处理300mm晶圆时提供了高性能。软件和硬件配备了碰撞检测功能,并符合SEMI F47电压无罪标准和SEMI S2环境,健康和安全标准。

控制器D
D控制器旨在开发无尘室应用,包括完整的数字伺服过程,标准的以太网通信端口,紧凑的占地面积,灵活的不同软件开发,双臂和多轴控制的独立操作,全轴统一伺服放大器,标准环境,健康安全SEMI S2,白色房间ISO 1。
D60控制器的规格
伺服完整的数字系统
受控轴:最多7轴
手动,半自动,全自动教学。
外部紧急停车,接近安全,外部停车。
硬件:RS232C x 1以太网。
软件:K-Utility(清洁机器人的原川崎通信命令)。
能量:电压:单相,AC208 V±10%,50/60 Hz。标准:SEMI F47。
输入信号:最多16个通道。
输出信号:最多8个通道
兼容机器人系列:NS,NT,NX,TT,TX和NV
D61控制器的规格
伺服完整的数字系统
受控轴:最多12个轴
手动,半自动,全自动教学。
外部紧急停车,接近安全,外部停车。
硬件:RS232C x 2以太网。
软件:K-Utility(清洁机器人的原川崎通信命令)。
能量:电压:单相,AC208 V±10%,50/60 Hz。标准:SEMI F47。
输入信号:最多96个通道
输出信号:最多80个通道
兼容机器人系列:NS,NT,NX,TT,TX和NV
主要规格
 
轴数:4
ISO Class 2
重复性:±0.1毫米(晶圆中心)
控制器:D60 / D61
 
运动范围(°)
 
Y轴(行程JT1):2 FOUP:660mm / 3 FOUP:1,070mm / 4 FOUP:1670mm
θ轴(旋转JT2):325°
Z轴(上下JT3):380毫米
X轴(上下JT4):798毫米
F轴(旋转JT5):156°
 
机器人应用
 
整理房间

应用

物料搬运 , 装配

图片

图表